为什么要取得高真空常用机械泵与扩散泵连用?

来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/05/08 12:35:01
为什么要取得高真空常用机械泵与扩散泵连用?

为什么要取得高真空常用机械泵与扩散泵连用?
为什么要取得高真空常用机械泵与扩散泵连用?

为什么要取得高真空常用机械泵与扩散泵连用?
机械泵的极限真空度约是 10^ -2 Pa
扩散泵的极限真空度约是 10^ -6 Pa 而排气压力在10-100 Pa
就是说不能直排大气,需要前级泵.
所以想达到高真空 需要两个泵串联使用.

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