不同的PECVD装备有什么不同的工艺
来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/05/09 16:10:28
不同的PECVD装备有什么不同的工艺
不同的PECVD装备有什么不同的工艺
不同的PECVD装备有什么不同的工艺
你这里所说的“不同”,是不是指管式和板式的差别呢?
管式PECVD的工艺原理是通过低压气氛的射频放电产生等离子体,辅助以加热系统,从而在wafer表面沉积镀膜;
而板式PECVD则是通过石英管保护的铜管,将微波导入工艺腔室,从而加热气体等离子,最后实现在wafer表面沉积薄膜的目的.
不同的PECVD装备有什么不同的工艺
PECVD 工艺中使用的石英管,使用状况如何?
怎样区别不同的化学实验装备?
印染废水和漂染废水有什么不同?处理时的工艺和添加的药剂有什么不同?
全装备独角兽高达模型 英文名是什么?关于不同的独角兽高达模型 分别有什么特点?
化学工程与化学工艺有什么不同?
不锈钢铸造工艺与铸钢工艺有什么不同?
奶粉干法工艺和湿法工艺有什么不同
PECVD的原理
PECVD的一些报警
PECVD碎片的原因还有就是上料下料时应注意什么,PECVD的原理?
不锈钢奥氏体、马氏体铸件与碳钢铸件的铸造工艺有什么不同?
树脂砂与精密铸造的区别在那里?其工艺与铸方法有什么不同?
洗煤厂的工艺流程图,哪个环节需要加药,洗煤厂与选煤厂有什么不同?
俏十岁科技面膜的制 作工艺有什么不同吗?
不同种类的书有什么不同
不同气候带的风化壳有什么不同?
不同水果有什么不同的作用